記者謝進盛、簡永祥、修瑞瑩、周宗禎/連線報導
南部科學園區啟碁南科二廠新建工程昨天近午施工時,不慎挖斷台電地下電纜,造成台積電南科十四廠、三福化工一度斷電,約十廠商電壓下降;台電緊急搶修,傍晚五時許恢復供電,但專家估計這次跳電事件,台積電將有三萬片晶圓需報廢,影響金額約十億元。
供應鏈業者透露,台積電有投保營業中斷險,且還有部分晶圓可搶救,影響有限。不過,其中以四十至四十五奈米製程幫索尼代工生產影像感測器(CIS)、以六十五奈米生產車用電源管理晶片,是目前極缺的晶片,雖然產線會很快恢復,但交貨期恐拉長至少一季,衝擊程度遠比營業中斷損失還大。
台積電今天將召開法說會,災情損失與對晶片供應的影響,將成關注焦點。台積電昨天表示,實際影響待恢復正常供電後釐清。
南科管理局初步調查,業者開挖前有先和台電核對園區圖資,但仍發生施工意外,不排除圖資資訊有誤差,或施工前「試挖」力道過大而挖斷地下電纜。科學園區同業公會組成調查小組深入釐清,結果這兩天出爐。
台電表示,過去大多都是因閃電等天候因素造成瞬間壓降,這是南科成立以來首度發生意外;受損線路預計今天下午五點修復。
據調查,啟碁南科二廠正進行新建工程去年六月開工,預計後年九月完成,昨天上午十一點六分,工人在廠區內進行直井施打地錨施設作業,不慎挖斷台電一六一KV地下電纜,造成線路跳脫。
南科園區電力建置雙迴路,南科管理局接獲台電通報,勒令廠商停工,但台積電晶圓十四廠、三福化工已跳電,附近聯電、群創、瀚宇、康寧、南茂等十家大廠也壓降,同步啟用UPS不斷電系統因應。
台積電一度緊急啟用柴油發電機因應廠區用電,園區保全也拉大警戒範圍,不時勸離園區外逗留路人。
半導體業者表示,台積電屬於中度壓降衝擊,通常晶圓製程中最關鍵的爐管及黃光設備都會有不斷電系統,避免最核心的曝光顯影受波及,至於後續的蝕刻、研磨等都採批次作業,評估影響得看有多少機台連結不斷電系統。南科管理局昨晚表示,聯電已回覆沒有損失,其他廠商受損情形仍持續了解中。
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